1、設(shè)備名稱

2、設(shè)備型號

 JS-MOL17S

3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)                                                          

3.1 工作室尺寸

 W 1310mm ×D 1010mm × H 1310mm(可自定）

3.2  材質(zhì)

 外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼，內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼

3.3 溫度范圍

 RT+10-450℃，使用溫度≤400℃

3.4 溫度分辨率

 0.1℃

3.5 溫度波動(dòng)度

 ＜±1℃

3.6 溫度均勻度

 ≤±2%

3.7 潔凈度

 class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

3.8電源及總功率

 AC 380V±10% / 50HZ       總功率約20.0KW    

3.9 升溫時(shí)間

 5-8℃/min，（空箱測試）

3.10降溫時(shí)間

 可滿足130℃-50℃，降溫5℃/min（空箱測試）

3.11氧含量

(配氧含量分析儀）

 高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
 低溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量

3.12 數(shù)據(jù)輸出

溫度和氧含量無紙記錄儀